bộ phận của kĩ thuật điện tử, liên quan đến sự chế tạo ra các cấu kiện điện tử chức năng, được thực hiện ở dạng vi tiểu hình hoá cao độ, có thể chứa đến một triệu phần tử trên một mảnh (A.chip) tinh thể silic có diện tích vài chục milimet vuông (còn gọi là vi mạch, mạch vi điện tử hay mạch tích hợp; A. Intergrated Circuit - IC). Các vi mạch quy mô tích hợp cực lớn (A. very large scale integration - VLSI, Ultra large scale Integration - ULSI) là phần tử cơ bản để chế tạo các máy điện toán và các máy siêu điện toán hiện nay. KTVĐT xuất hiện vào những năm đầu của thập kỉ 60 thế kỉ 20 và phát triển cực kì nhanh.